PECVD二氧化硅对金属的粘附性不错，淀积的也还行，但是反应的源得控制好，而且像NO或NO2这类的气体都有毒性，但是确实是可实现的。我是用磁控长的SiO2，在Al上长的，长出来效果也不错，粘附性也很好，就是时间长了点。希望这些对你有所帮助。